Русская установка контактной масочной литографии
Викинг
Мудрость форума: Социальная жизнь
- Писать ли заявление в полицию на соседей снизу?169 ответов
- Что заставляет россиян тосковать по СССР?2 427 ответов
- 30 лет для женщины - закат или расцвет?1 151 ответ
- Уважение к беременным1 299 ответов
- Есть ли бумеранг тем, кто разбил чужие семьи?829 ответов
- Ошибки молодости испортили всю мою жизнь432 ответа
- Рожают чтобы не работать200 ответов
- Еду покорять столицу!1 813 ответов
- НЕ хозяйстенная и НЕ стыжусь этого :)3 854 ответа
- Стыдно ли быть домохозяйкой?1 276 ответов
17 ответов
Последний —
Перейти
Викинг
Чтобы подвести несколько электрических контактов сложной формы к чешуйке графена, ширина которой сравнима с диаметром человеческого волоса, мы используем нашу установку.
Ученый добавил, что таким образом можно создать образец за несколько минут. Для этого используются заранее изготовленные маски.
«Конечно, наша установка не универсальна: она не предназначена для массового производства и не позволяет получать субмикронное разрешение. Однако оказалось, что мы сконструировали установку, которая интересна не только нам, но и соседним лабораториям, и даже исследовательским отделам производственных компаний со схожими задачами», — отметил Арслан Галиуллин.
Также на форуме «Микроэлектроника-2024» ученые ФИАН представили прототип установки проекционной безмасочной литографии, находящейся в активной стадии разработки. В отличие от установки контактной масочной литографии, она работает не по заранее заготовленным шаблонам, а засвечивает произвольный рисунок, заданный пользователем программно. Таким образом, эта установка позволит создавать методом фотолитографии более широкий класс изделий, в том числе маски для устройств, которые работают по шаблонам.
Ученый добавил, что таким образом можно создать образец за несколько минут. Для этого используются заранее изготовленные маски.
«Конечно, наша установка не универсальна: она не предназначена для массового производства и не позволяет получать субмикронное разрешение. Однако оказалось, что мы сконструировали установку, которая интересна не только нам, но и соседним лабораториям, и даже исследовательским отделам производственных компаний со схожими задачами», — отметил Арслан Галиуллин.
Также на форуме «Микроэлектроника-2024» ученые ФИАН представили прототип установки проекционной безмасочной литографии, находящейся в активной стадии разработки. В отличие от установки контактной масочной литографии, она работает не по заранее заготовленным шаблонам, а засвечивает произвольный рисунок, заданный пользователем программно. Таким образом, эта установка позволит создавать методом фотолитографии более широкий класс изделий, в том числе маски для устройств, которые работают по шаблонам.
Форум: Социальная жизнь
Всего: 146 866 тем
Новые темы за сутки: 78 тем
- Почему так много атеистов, если Иисус существовал на самом деле?10 ответов
- Есть ли жизнь после 33+90 ответов
- Есть еще люди, которые встают в 5 утра?6 ответов
- Где можно потерять обручальное кольцо?3 ответа
- А вы встречали в своей жизни эксгибиционистов? Сильно испугались?3 ответа
- Кто может воровать мои окурки?2 ответа
- Назовите одну вещь, которую делают все нормальные люди, а вы не умеете или терпеть не можете6 ответов
- Всю жизнь можно изменить одним желанием?6 ответов
- Что такое быть христианином?10 ответов
- Попрошу у вас поддержки и добрых слов в мой адрес4 ответа
Популярные темы за сутки: 17 тем
- Есть ли жизнь после 33+90 ответов
- Почему раньше все хотели служить и служили дольше?38 ответов
- Назовите товар, который вы всю жизнь покупаете одного бренда и не рассматриваете других28 ответов
- Упрекают, что не сделала аборт23 ответа
- Почему много мелких трусливых мужчин. Им за себя не стыдно?22 ответа
- Какой характер у человека, который попадет в ад?17 ответов
- Почему, если у тебя квартира в Москве то ты наворовала?17 ответов
- Нам Водолеям тяжело от общительных Тельцов14 ответов
- Почему так много атеистов, если Иисус существовал на самом деле?11 ответов
- Бесят люди, которые моются только по вечерам или перед сном11 ответов
Следующая тема
Предыдущая тема
30.09.2024 Ученые Физического института им. П.Н. Лебедева РАН представили установку контактной масочной литографии. Она позволяет значительно сэкономить время и ресурсы при создании штучных опытных образцов микроструктур.
Литография — это нанесение или вытравливание рисунка определенной формы на пластине. Путем многократного применения литографии создаются элементы электроники, микроэлектроники и фотоники: металлические контактные дорожки, по которым идет ток или сигнал; волноводы; области легированных контактов. Для нанесения этого рисунка подложка покрывается специальным веществом — фоторезистом, после чего отдельные области засвечиваются. Затем, как и в фотографии, засвеченные области проявляются. Однако если в фотографии проявляется изображение, то в литографии проявляется вещество, и фоторезист смывается с засвеченных областей. После этого с подложкой можно проводить дальнейшие операции, например травление или осаждение металла. Если осадить металл на всю подложку, содержащую участки с фоторезистом и без него, а затем смыть фоторезист, то там, где он был, металл будет удален вместе с фоторезистом, а на оголенных областях металл останется. Таким образом, на подложке сформируется рисунок из металла. Так создаются проводящие дорожки.
Созданная в ФИАН установка контактной мини-масочной литографии позволяет быстро переносить рисунок с малых теневых масок на небольшие подложки, обычно используемые в научных исследованиях.
«Установка контактной масочной литографии — это лабораторное оборудование, которое позволяет просто, без долгих и дорогих индустриальных технологий, создать тестовую структуру. В нашей лаборатории мы работаем с материалами типа графена. Часто для получения значимых научных результатов нам требуется несколько десятков образцов с контактами к тонким слоям графена, полученным разными способами.