Русская установка контактной масочной литографии
Викинг
Мудрость форума: Социальная жизнь
- Еду покорять столицу!1 812 ответов
- Отдаю ребенка отцу...5 231 ответ
- Хочу жить в патриархате!4 539 ответов
- Есть ли бумеранг тем, кто разбил чужие семьи?787 ответов
- Работающие женщины: вы вынуждены или сами захотели?1 230 ответов
- Я в ужасе или надо ли уважать старость?353 ответа
- Лягушка, которая барахталась, но не взбила масло155 418 ответов
- Увеличение пенсионного возраста. Мне страшно4 436 ответов
- С какой стати считается, что домохозяйкой быть стыдно!?8 823 ответа
- Почему в РФ так хейтят женщин за возраст452 ответа
17 ответов
Последний —
Перейти
Викинг
Чтобы подвести несколько электрических контактов сложной формы к чешуйке графена, ширина которой сравнима с диаметром человеческого волоса, мы используем нашу установку.
Ученый добавил, что таким образом можно создать образец за несколько минут. Для этого используются заранее изготовленные маски.
«Конечно, наша установка не универсальна: она не предназначена для массового производства и не позволяет получать субмикронное разрешение. Однако оказалось, что мы сконструировали установку, которая интересна не только нам, но и соседним лабораториям, и даже исследовательским отделам производственных компаний со схожими задачами», — отметил Арслан Галиуллин.
Также на форуме «Микроэлектроника-2024» ученые ФИАН представили прототип установки проекционной безмасочной литографии, находящейся в активной стадии разработки. В отличие от установки контактной масочной литографии, она работает не по заранее заготовленным шаблонам, а засвечивает произвольный рисунок, заданный пользователем программно. Таким образом, эта установка позволит создавать методом фотолитографии более широкий класс изделий, в том числе маски для устройств, которые работают по шаблонам.
Ученый добавил, что таким образом можно создать образец за несколько минут. Для этого используются заранее изготовленные маски.
«Конечно, наша установка не универсальна: она не предназначена для массового производства и не позволяет получать субмикронное разрешение. Однако оказалось, что мы сконструировали установку, которая интересна не только нам, но и соседним лабораториям, и даже исследовательским отделам производственных компаний со схожими задачами», — отметил Арслан Галиуллин.
Также на форуме «Микроэлектроника-2024» ученые ФИАН представили прототип установки проекционной безмасочной литографии, находящейся в активной стадии разработки. В отличие от установки контактной масочной литографии, она работает не по заранее заготовленным шаблонам, а засвечивает произвольный рисунок, заданный пользователем программно. Таким образом, эта установка позволит создавать методом фотолитографии более широкий класс изделий, в том числе маски для устройств, которые работают по шаблонам.
Форум: Социальная жизнь
Всего: 144 611 тем
Новые темы за сутки: 38 тем
- Часто ли к вам подходила девушка с хмурым видом?4 ответа
- Карл Саган - голубая точка2 ответа
- Преимущественные законы РФ в ближайшем будущем44 ответа
- Являюсь ли я ужасным человеком в этой истории?7 ответов
- В 30 женщина только начинает разгоняться?9 ответов
- Голосование в сентябре51 ответ
- Злобная соседка11 ответов
- Дамы опишите худший день всей вашей жизни10 ответов
- Казашка в Баку9 ответов
- Сколько раз можно использовать веник в бане?4 ответа
Популярные темы за сутки: 10 тем
- Голосование в сентябре51 ответ
- Преимущественные законы РФ в ближайшем будущем44 ответа
- Не так давно переехали в Питер, пока живем на съемной квартире17 ответов
- Как сейчас жить молодым если нет надежды на завтрашний день11 ответов
- Злобная соседка11 ответов
- Как записать сестру в телефоне?11 ответов
- Дамы опишите худший день всей вашей жизни10 ответов
- Казашка в Баку9 ответов
- В 30 женщина только начинает разгоняться?9 ответов
- Являюсь ли я ужасным человеком в этой истории?7 ответов
Следующая тема
Предыдущая тема
30.09.2024 Ученые Физического института им. П.Н. Лебедева РАН представили установку контактной масочной литографии. Она позволяет значительно сэкономить время и ресурсы при создании штучных опытных образцов микроструктур.
Литография — это нанесение или вытравливание рисунка определенной формы на пластине. Путем многократного применения литографии создаются элементы электроники, микроэлектроники и фотоники: металлические контактные дорожки, по которым идет ток или сигнал; волноводы; области легированных контактов. Для нанесения этого рисунка подложка покрывается специальным веществом — фоторезистом, после чего отдельные области засвечиваются. Затем, как и в фотографии, засвеченные области проявляются. Однако если в фотографии проявляется изображение, то в литографии проявляется вещество, и фоторезист смывается с засвеченных областей. После этого с подложкой можно проводить дальнейшие операции, например травление или осаждение металла. Если осадить металл на всю подложку, содержащую участки с фоторезистом и без него, а затем смыть фоторезист, то там, где он был, металл будет удален вместе с фоторезистом, а на оголенных областях металл останется. Таким образом, на подложке сформируется рисунок из металла. Так создаются проводящие дорожки.
Созданная в ФИАН установка контактной мини-масочной литографии позволяет быстро переносить рисунок с малых теневых масок на небольшие подложки, обычно используемые в научных исследованиях.
«Установка контактной масочной литографии — это лабораторное оборудование, которое позволяет просто, без долгих и дорогих индустриальных технологий, создать тестовую структуру. В нашей лаборатории мы работаем с материалами типа графена. Часто для получения значимых научных результатов нам требуется несколько десятков образцов с контактами к тонким слоям графена, полученным разными способами.